Оптический микроскоп MSA-100-3D

для MEMS3Dнебольшого размера

измерение трехмерных вибраций для МЭМС и микросистем Вибрации реальных объектов обычно трехмерны. Хотя вы действительно можете показать предпочтительные направления, производственные допуски и другие влияния приводят к перемещению компонентов и в других пространственных направлениях. С помощью анализатора микросистем MSA-100-3D вы можете комплексно, в широком диапазоне частот и в реальном времени проанализировать динамическое поведение образца. Компоненты вибрации во всех трех пространственных направлениях регистрируются одновременно с высоким разрешением и анализируются как интегрированная запись данных. Вы достигаете субпикометрового амплитудного разрешения, характерного для лазерных виброметров, независимо от направления вибрации. Измерение вибрации в реальном времени с высокой пропускной способностью до 25 МГц Субпикометровое амплитудное разрешение для внеплоскостных и внутриплоскостных перемещений Измерения как в одной точке, так и по всему полю Маленькое лазерное пятно менее 4 мкм обеспечивает максимальное боковое разрешение Большое расстояние между датчиками - 38 мм Совместимость с распространенными измерительными станциями MEMS