Измерительная система вибрации MSA-600

оптическая

Измерение динамического отклика и топографии МЭМС и микроструктур Анализ и визуализация топографии поверхности и динамических перемещений являются ключевыми для тестирования и разработки микроструктур, таких как устройства MEMS (микроэлектромеханические системы). Они незаменимы для проверки расчетов FE, определения эффектов перекрестных помех и измерения деформации поверхности. Анализатор микросистем MSA-600 - это универсальная оптическая измерительная рабочая станция для определения топографии поверхности, а также перемещений в плоскости и вне плоскости. Версии MSA-600-M/V охватывают частотные диапазоны до 25 МГц, идеально подходящие для МЭМС, МЭМС-микрофонов и других микросистем. Версии MSA-600-X/U охватывают диапазон высоких и очень высоких частот до 2,5 ГГц, идеально подходя для оценки высокочастотных МЭМС-резонаторов, микроакустических устройств типа SAW, BAW и других. ПРЕМЬЕРА: MSA-600-S - это специализированная оптическая измерительная рабочая станция, предназначенная для анализа вибраций и топографии поверхности в реальном времени в диапазоне 6 ГГц. Идеально подходит для тестирования гигагерцовых МЭМС, таких как FBAR (пленочные объемные акустические резонаторы), BAW (объемные акустические волны) фильтры и SAW (поверхностные акустические волны) устройства.