Вертикальный координатный стол GTS series

с линейным двигателемодноосныйс перекрестными роликами

Этапы серии GTS-V имеют самый большой диапазон перемещения, самую высокую скорость и наилучшую точность и повторяемость по сравнению с другими платформенными вертикальными этапами. Низкий профиль и высокоточные возможности перемещения делают этот этап отличным выбором для таких приложений, как контроль полупроводниковых пластин, нанотехнологии, автоматическое выравнивание устройств, метрология и процессы контроля качества. -30 или 70 мм прецизионного вертикального перемещения в компактном устройстве -Непрепятственный доступ к полезной нагрузке с любого направления -Без дребезга и исключительная точность траектории благодаря вертикальным скрещенным роликовым подшипникам с защитой от скручивания -Высокая чувствительность, отличная повторяемость и высокая точность перемещения благодаря встроенному линейному кодирующему устройству Прямая вертикальная направляющая Высокоточное вертикальное перемещение достигается с помощью прямой вертикальной направляющей системы, состоящей из подобранных пар перекрещивающихся роликовых подшипников с защитой от ползучести для GTS30V и рециркулирующих шарикоподшипников для GTS70V. Эти линейные направляющие были выбраны для обеспечения наиболее прямой траектории, плавного и точного движения и надежной, долговременной работы. Кроме того, перекрещивающиеся роликовые подшипники в GTS30V имеют дополнительное преимущество - более тихое движение без пульсаций, что важно для приложений метрологического уровня. Высокоэффективный приводной механизм Сложенный двигатель постоянного тока с прецизионным шлифованным ведущим винтом с низким коэффициентом трения обеспечивает сверхплавное движение даже при высоких нагрузках. Редукционный ремень между двигателем и ведущим винтом увеличивает доступный выходной крутящий момент и снижает чувствительность сервопривода, обеспечивая 100 нм MIM.