Линейная пластина нанопозиционирования NPX series

пьезоэлектрическая3 осикомпактная

Линейные этапы NPX Piezo Stack обеспечивают перемещение с большим ходом и субнанометровым разрешением по одной, двум или трем осям в компактном корпусе. Они отличаются быстрым откликом и быстрой настройкой, что позволяет использовать их в динамических процессах, таких как высокочастотная компенсация ошибок, слежение, быстрый шаг или непрерывное сканирование. -Разрешение пьезоэлектрического позиционирования на уровне субнанометра -Движение по X, XY или XYZ -Диапазон пьезоэлектрического перемещения до 400 мкм -Опциональный встроенный тензодатчик для работы в замкнутом контуре -Высокая резонансная частота для высокодинамичных приложений -Вакуумные версии Особенности Субнанометровое разрешение позиционирования С разрешением позиционирования до 0,2 нм линейный каскад NPX Piezo Stack обеспечивает сверхточную настройку с разрешением, ограниченным только шумом управляющей электроники. Большой диапазон пьезоэлектрических перемещений Линейные ступени NPX Piezo Stack оснащены высоконадежными многослойными низковольтными пьезоэлектрическими преобразователями для работы в условиях высокой нагрузки. Сложная, оптимизированная FEA, параллелограммная твердотельная система направляющих изгиба обеспечивает идеальное параллельное движение и диапазон перемещения до 400 мкм. Благодаря принципу направляющих без трения линейные ступени NPX Piezo Stack не требуют технического обслуживания и не подвержены износу. Кроме того, на чувствительность выходного перемещения не влияет механическое трение.