Линейная пластина нанопозиционирования NPX series

пьезоэлектрическая3 осикомпактная

Линейные каскады NPX Piezo Stack обеспечивают перемещение с большим ходом и субнанометровым разрешением по одной, двум или трем осям в компактном корпусе. Они отличаются быстрым откликом и быстрой настройкой, что позволяет использовать их в динамических процессах, таких как высокочастотная компенсация ошибок, слежение, быстрый шаг или непрерывное сканирование. -Разрешение пьезоэлектрического позиционирования до субнанометра -Перемещение по X, XY или XYZ -Диапазон перемещения пьезоэлектрического датчика до 400 мкм -Опциональный встроенный тензодатчик для работы в замкнутом контуре -Высокая резонансная частота для высокодинамичных приложений -Вакуумные версии Характеристики Субнанометровое разрешение позиционирования Благодаря разрешению позиционирования всего 0,2 нм линейный каскад NPX Piezo Stack обеспечивает сверхтонкую настройку с разрешением, ограниченным только шумами управляющей электроники. Большой диапазон пьезоэлектрических перемещений Линейные ступени NPX Piezo Stack оснащены высоконадежными многослойными низковольтными стеками пьезоэлектрических преобразователей для работы в условиях высоких нагрузок. Сложная, оптимизированная FEA, параллелограммная твердотельная направляющая обеспечивает идеальное параллельное движение и диапазон перемещения до 400 мкм. Благодаря принципу направляющих без трения линейные стеки NPX Piezo Stack не требуют обслуживания и не подвержены износу. Кроме того, на чувствительность выходного перемещения не влияет механическое трение. Дополнительный встроенный тензодатчик для работы в замкнутом цикле Системы с замкнутым контуром (модели -SG) оснащены тензометрическими датчиками положения высокого разрешения, обеспечивающими высокую точность и повторяемость перемещений, а также компенсирующими ползучесть привода. Сборка выполнена в виде полного моста Витстоуна и нечувствительна к температуре.