Система наблюдения для измерения температуры Process Probe™ 1730

для контроля процесса

Приборные пластины Process Probe™ 1730 позволяют точно определять на месте температурные профили пластин в системах дорожек фоторезиста, системах патронов для пластин с регулируемой температурой, в печах, а также в системах запекания резиста, полиимида и SOG. Process Probe 1730 помогает инженерам определять характеристики и точно настраивать технологические условия для повышения производительности технологического оборудования и увеличения выхода продукции. Области применения Разработка технологических процессов, квалификация технологических процессов, квалификация технологического оборудования, подбор технологического оборудования Системы литографических дорожек, системы патронов и печей для вафель с контролем температуры | -150-300°C