Измерительная система для измерения температуры SensArray®

автоматическаядля инструментов

Пакет управления технологическим процессом SensArray® Automation in situ обеспечивает быстрый автоматизированный сбор измерений температуры в камере технологического инструмента, а также полуавтоматическую функциональность для поддержки запуска фабрики. Пакет SensArray Automation включает в себя базовую станцию автоматизации AS1000, совместимую со всеми 300-мм беспроводными продуктами SensArray, FOUP, совместимый с подвесными путями (OHT), контроллер автоматизации системы и компоненты программного обеспечения для офисного ПК. Базовые станции SensArray FOUP могут поддерживать два отдельных продукта SensArray для гибкого развертывания фабрики и могут обрабатываться так же, как и любые производственные FOUP, с прямым переносом данных на графики SPC. Автоматизация SensArray обеспечивает повышение производительности, что приводит к увеличению доступности технологических инструментов, более эффективному использованию инженерных ресурсов и централизованному хранению данных в базе данных MES завода. Приложения Разработка технологических процессов, квалификация технологических процессов, мониторинг технологических инструментов, квалификация технологических инструментов, согласование камер, согласование технологических инструментов