Измерительная система для измерения температуры SensArray®

автоматическаядля инструментов

Пакет автоматизации измерения температуры на месте установки Пакет SensArray® Automation обеспечивает быстрый автоматический сбор данных измерений температуры в камере технологического инструмента. Пакет включает в себя FOUP, совместимый с верхней дорожкой (OHT), станцию автоматизации, контроллер автоматизации системы и компоненты сидений программного обеспечения офисного ПК. SensArray FOUP можно обрабатывать так же, как и любые другие производственные FOUP, с прямым переносом данных на SPC-графики. SensArray Automation обеспечивает повышение производительности за счет повышения доступности технологических инструментов, более эффективного использования инженерных ресурсов и централизованного хранения данных в базе данных MES предприятия Заявления Разработка процессов, Квалификация процессов, Контроль технологического инструмента, Квалификация технологического инструмента, Сопоставление камер, Сопоставление технологического инструмента