Измерительная система для измерения температуры WetTemp™

для полупроводниковых пластин

Система измерения температуры пластин WetTemp™ in situ, доступная в конфигурациях 300 мм и 200 мм, обеспечивает мониторинг процессов мокрой очистки и других мокрых процессов. Мониторные пластины серии WetTemp совместимы с большинством технологических систем для мокрой очистки отдельных пластин, что помогает инженерам квалифицировать инструменты для мокрой очистки, оптимизировать процессы мокрой очистки и повышать производительность систем мокрой очистки. Области применения Разработка технологических процессов, квалификация технологических процессов, мониторинг технологических инструментов, квалификация технологических инструментов, согласование технологических инструментов Мониторинг температуры пластин с помощью 65 встроенных температурных датчиков, равномерно распределенных в девяти концентрических кольцах, обеспечивающих улучшенное покрытие поверхности пластины для получения богатых пространственных данных о температуре по всей пластине. Совместим с мокрыми процессами для одной пластины с толщиной пластины 1,2 мм. Мониторинг температуры пластины с помощью 65 встроенных датчиков температуры, равномерно распределенных в девяти концентрических кольцах, что обеспечивает улучшенное покрытие поверхности пластины для получения обширных пространственных данных о температуре по всей пластине. Совместим с мокрыми процессами на одной пластине с толщиной пластины 1,2 мм. Мониторинг температуры пластины с помощью 65 встроенных температурных датчиков, распределенных в пяти концентрических кольцах со смещенной плотностью в области 147 мм. Совместим с мокрыми процессами с одной пластиной толщиной 0,775 мм. Контроль температуры пластин с помощью 65 встроенных датчиков температуры, распределенных в пяти концентрических кольцах со смещенной плотностью в области 147 мм. Совместим с мокрыми процессами с одной пластиной толщиной 1,2 мм.