Измерительная система для измерения температуры WetTemp series

для полупроводниковых пластин

Система измерения температуры пластин при мокрой обработке (от 15° до 140°C) на месте Система измерения температуры пластин WetTemp in situ, доступная в конфигурациях 300 мм и 200 мм, обеспечивает мониторинг мокрой очистки и других мокрых процессов. Мониторные пластины серии WetTemp совместимы с большинством технологических систем мокрой очистки с одной пластиной, что помогает инженерам квалифицировать инструменты для мокрой очистки, оптимизировать процессы мокрой очистки и повышать производительность систем мокрой очистки. Области применения Разработка технологических процессов, квалификация технологических процессов, мониторинг технологических инструментов, квалификация технологических инструментов, согласование технологических инструментов WetTemp-HR Мониторинг температуры пластины с 65 встроенными температурными датчиками, равномерно распределенными в девяти концентрических кольцах, обеспечивающих улучшенное покрытие поверхности пластины для получения богатых пространственных данных о температуре по всей пластине. Совместим с мокрыми процессами на одной пластине с толщиной пластины 1,2 мм. WetTemp-LP Мониторинг температуры пластины с помощью 65 встроенных температурных датчиков, распределенных в пяти концентрических кольцах со смещенной плотностью в области 147 мм. Совместим с мокрыми процессами с одной пластиной толщиной 0,775 мм. WetTemp Контроль температуры пластин с помощью 65 встроенных датчиков температуры, распределенных в пяти концентрических кольцах со смещенной плотностью в области 147 мм. Совместим с мокрыми процессами с одной пластиной толщиной 1,2 мм.