Измерительная система для измерения температуры HighTemp™

для полупроводниковых пластин

Серия систем измерения температуры пластин HighTemp™, доступных в конфигурациях 300 мм и 200 мм, предназначена для оптимизации и мониторинга передовых пленочных процессов (FEOL и BEOL ALD, CVD и PVD) и других процессов с повышенными температурами. Беспроводные пластины HighTemp измеряют тепловую однородность технологического инструмента, обеспечивая полную картину временных и пространственных температурных данных, собранных в режиме реального времени в реальных условиях производственного процесса. Выявляя тепловые вариации в таких приложениях, как плазменная среда, которые могут влиять на технологические окна и производительность паттернинга, серия HighTemp помогает производителям ИС оптимизировать интеграцию новых материалов, транзисторных технологий и сложных методов паттернинга. Области применения Разработка технологических процессов, квалификация технологических процессов, мониторинг технологических инструментов, квалификация технологических инструментов, подбор технологических инструментов Временные и пространственные температурные данные в реальных условиях процесса для характеризации передовых пленочных процессов с температурами в диапазоне 20-400°C. Временные и пространственные температурные данные в реальных технологических условиях для характеризации передовых пленочных процессов с температурами в диапазоне 20-500°C. Кроме того, HighTemp-500 расширяет максимальные возможности сбора данных (время при температуре) для процессов с температурой до 400°C по сравнению с HighTemp-400.