Термально-массовый расходомер DZ-107

массовыйдля газа

14 января компания HORIBA STEC, Co., Ltd. объявила о выпуске DZ-107 как новейшей модели в серии ультратонких контроллеров массового расхода. Этот продукт увеличивает полномасштабный расход*1 примерно в семь раз по сравнению с предыдущими моделями и достигает максимального массового расхода 20 SLM*2, самого высокого в своем классе*3, сохраняя при этом ультратонкую ширину 10 мм. DZ-107 также повышает максимальную рабочую температуру с 45°C до 60°C, чтобы поддерживать газы, используемые в процессе прецизионного производства передовых полупроводников. Эти функциональные усовершенствования не только сохраняют эффективность предыдущих моделей в процессах травления, но и поддерживают химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и атомно-слоевое осаждение (ALD), требующие высокого контроля потока. По мере того как современные полупроводниковые устройства расширяют границы миниатюризации и интеграции, требования к контроллерам массового расхода в таких процессах, как травление и формование, становятся все более сложными. Чтобы удовлетворить широкий спектр потребностей, производители оборудования для производства полупроводников стремятся найти баланс между необходимостью увеличения количества контроллеров массового расхода и миниатюризацией газовых панелей*4, в которых устанавливаются эти устройства. Компания HORIBA STEC разработала DZ-107, чтобы полностью расширить возможности продукта для решения этой задачи, сохранив при этом уникально тонкую 10-миллиметровую ширину DZ-100, выпущенного в 2020 году. Это включает в себя увеличение полномасштабного расхода и диапазона рабочих температур, а также поддержку EtherCAT®*5. *1 Максимальный расход, для точного измерения и контроля которого откалиброван прибор *2 Стандартные литры в минуту (SLM) представляют собой числовое значение в литрах, которое указывает на