D700T - это модуль массового расхода с наилучшими характеристиками, чувствительный к давлению, разработанный для критически важных процессов производства полупроводников. В D700T адаптирована технология измерения и управления расходом на основе давления HORIBA CRITERION, обеспечивающая лучшие в отрасли воспроизводимые и точные характеристики. Кроме того, уникальность D700T заключается в использовании запатентованного усовершенствованного алгоритма управления расходом с двухклапанной структурой, что позволяет системе подачи газа заказчика решать множество задач.
≤ Быстрое время установления 100 мс по всем параметрам (установка на заданное значение, ступенчатое повышение и ступенчатое понижение)
Нечувствительность к давлению на входе и выходе
Расширенное обнаружение неисправностей для диагностики смещения датчика давления, утечки в седле клапана и изменения точности потока
Повторяемость в пределах 0,15 %S.P
Наилучшая точность в пределах 0,45 %S.P.* (стандарт: 0,8 %S.P.)
Более широкий диапазон рабочих температур (15-60 °C)
---