Термально-массовый расходомер D500 series
с переменным давлениемдля газалинейный

термально-массовый расходомер
термально-массовый расходомер
термально-массовый расходомер
термально-массовый расходомер
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
 

Характеристики

Технология
термально-массовый, с переменным давлением
Измеряемая среда
для газа
Сборка
линейный
Коммуникационный протокол
RS485
Напряжение питания
15 Vcc
Температура процесса

МАКС.: 80 °C
(176 °F)

МИН.: 0 °C
(32 °F)

Давление процесса

МАКС.: 7,5 bar
(108,78 psi)

МИН.: 3,5 bar
(50,76 psi)

Повторяемость

МАКС.: 0,3 %

МИН.: 0,03 %

Описание

Модуль массового расхода, нечувствительный к давлению Этот передовой модуль массового расхода, нечувствительный к давлению, оснащен датчиком перепада давления и клапаном с пьезоприводом. Высокий уровень производительности, обеспечиваемый модулем CRITERION D500, позволяет использовать его для ряда передовых процессов производства полупроводников; нечувствительность к давлению, многодиапазонность/мультигаз/мультидавление, функция самодиагностики G-LIFE (проверка газового закона по уравнению интегрированного ограничителя расхода), высокая точность, быстрый отклик, широкий диапазон и цельнометаллический корпус Характеристики нечувствительности к давлению Новая высокопроизводительная функция Pressure Insensitive обеспечивает упрощенную систему подачи газа Решение для нескольких диапазонов, нескольких газов, нескольких давлений Новые функции позволяют пользователю изменять тип газа, полномасштабный расход и диапазон давления питания Функция самодиагностики G-LIFE (проверка газового закона уравнения встроенного ограничителя потока) Усовершенствованная функция мониторинга состояния процесса позволяет операторам проводить собственные тесты, как правило, за три секунды или менее, что повышает производительность Высокая точность Точность расхода технологического газа была улучшена благодаря усовершенствованной трехмерной регулировке Быстрый отклик Отклик: < 0,8 секунды Обеспечивается точное и стабильное регулирование расхода Динамический диапазон Широкий диапазон регулирования: 0.2% F.S. до 100% F.S. "В последнее время, с ростом применения полупроводникового устройства в соответствии с IoT, новейшие полупроводниковые заводы уделяют особое внимание минимизации времени простоя аппаратуры. Поэтому с целью предварительного обнаружения отказов полупроводниковых инструментов и их компонентов увеличиваются управляемые параметры полупроводникового процесса, а его спецификация становится все более жесткой.

---

ВИДЕО

Каталоги

CRITERION D507 Series
CRITERION D507 Series
3 Страницы

Салоны

Вы сможете встретиться с этим поставщиком на выставке(-ах)

ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 июн. 2024 Frankfurt am Main (Германия)

  • Дополнительная информация

    Другие изделия HORIBA STEC

    Mass Flow Controller and Module

    * Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.