Термально-массовый расходомер D500 series

с переменным давлениеммассовыйдля газа

Этот передовой модуль массового расхода, нечувствительный к давлению, оснащен датчиком перепада давления и клапаном с пьезоприводом. Высокий уровень производительности, обеспечиваемый CRITERION D500, позволяет использовать его для ряда передовых процессов производства полупроводников; нечувствительность к давлению, многодиапазонность/мультигаз/мультидавление, функция самодиагностики G-LIFE (проверка газового закона по уравнению интегрированного ограничителя расхода), высокая точность, быстрый отклик, широкий диапазон и цельнометаллическая конструкция. Нечувствительность к давлению Новая высокопроизводительная функция Pressure Insensitive обеспечивает упрощенную систему подачи газа Решение для нескольких диапазонов, нескольких газов, нескольких давлений Новые функции позволяют пользователю изменять тип газа, полномасштабный расход и диапазон давления подачи Функция самодиагностики G-LIFE (проверка газового закона по уравнению встроенного дросселя) Усовершенствованная функция мониторинга состояния процесса позволяет операторам проводить собственные испытания, как правило, за три секунды или менее, что повышает производительность Высокая точность Точность расхода технологического газа была повышена благодаря усовершенствованной трехмерной регулировке Быстрый отклик Отклик: < 0,8 секунды Точное и стабильное управление расходом Динамический диапазон Широкий диапазон регулирования: 0.2% F.S. до 100% F.S. "В последнее время, с ростом применения полупроводниковых устройств в соответствии с IoT, новейшие полупроводниковые заводы уделяют особое внимание минимизации времени простоя оборудования. Поэтому для предварительного обнаружения отказов полупроводниковых инструментов и их компонентов увеличиваются управляемые параметры полупроводникового процесса, а его спецификация становится все более жесткой.