Регулятор давления выхлопа серии EC-5000 может поддерживать в камере постоянное давление по выбору пользователя. Шаговый двигатель высокого разрешения и уникальный дроссельный клапан обеспечивают быструю и чувствительную реакцию на любые изменения давления.
Подходит для высокого вакуума: корпус из нержавеющей стали
Коррозионная стойкость: также доступны модели с корпусами из ПТФЭ
Соответствует требованиям RoHS.
Когда скорость потока выхлопных газов отрегулирована до оптимального уровня:
Резист распределяется в виде равномерной пленки
Предотвращается вторичное осаждение тумана
Предотвращается диффузия опасных паров.
Изменение чувствительности, вызванное накоплением резиста и других загрязнений, меньше, чем при управлении с помощью датчика расхода, а влияние турбулентности и других шумов исключено, что обеспечивает превосходное, стабильное и быстрое управление.
---