Термально-массовый расходомер D700uF

массовыйдля газаиз ПФА

D700uF (Micro Flow) предназначен для работы с потоком ≤ 5SCCM. контроль расхода ≤ 5SCCM очень важен в процессах с высоким аспектным отношением Специализированные компоненты и недавно разработанный собственный стандарт низкого расхода позволяют с высокой точностью контролировать расход до 0,025SCCM. Возможность контроля расхода до 0,025SCCM Точное управление настроечным газом, улучшающее настраиваемость процесса ≤ 100 мс Ступенчатый отклик и контроль отклонений между МФЦ и МФЦ Обеспечивают высокую производительность и улучшают технологические характеристики Собственная метрология потока Надежная работа всех производимых изделий Функция мониторинга состояния Предоставление большего количества внутренних данных для более точного прогнозирования отказов Улучшенное перекрытие клапана и устойчивость к коррозии благодаря соплу из PFA Надежность с меньшим риском попадания частиц сокращает время простоя и оптимизирует выход продукции