Мультидиапазонный/мультигазовый цифровой контроллер массового расхода воздуха
Это самая продаваемая модель цифровых контроллеров массового расхода HORIBA. Он имеет функции многодиапазонного/мультигазового регулятора, позволяющие пользователям быстро и легко изменять тип газа или полномасштабный расход на месте.
Благодаря высокой точности +/- 1,0% S.P., клапану с пьезоприводом, высокой скорости отклика и цельнометаллической конструкции этот контроллер массового расхода подходит для повышения производительности процесса и упрощения управления деталями. Доступны цифровые/аналоговые, DeviceNet™ и EtherCAT® коммуникации.
Высокая точность ±1,0% S.P.
Линейность этого регулятора массового расхода компенсируется полиномиальной аппроксимированной кривой и достигает высокой точности для всех диапазонов регулирования расхода. Для повышения точности измерения фактического газа, калибровочные данные различных технологических газов измеряются стандартной системой измерения газа компании HORIBA STEC.
Высокоскоростное реагирование
Установлена система "Variable PID", которая может достигать 1 секунды отклика между любыми двумя заданными значениями. Переменный ПИД непрерывно изменяется в зависимости от настройки точки расхода. Это позволяет оптимизировать коэффициент ПИД при изменении полномасштабного расхода и газов.
Решение для нескольких газов/ нескольких диапазонов
Программное обеспечение для конфигурирования позволяет быстро и легко изменять технические характеристики. Одной из ключевых особенностей является то, что изменения можно вносить, не снимая контроллер массового расхода с газовой панели или трубопровода. Это уменьшает количество необходимых запасных контроллеров массового расхода, что экономит время и затраты.
Контроллер массового расхода SEC-Z500X подходит для различных областей применения, а также для производства полупроводников.
---