Термально-массовый расходомер D700MG

массовыйдля газацифровой

Критически важные процессы производства полупроводников постоянно нуждаются в прецизионных устройствах управления потоком газа, которые обеспечивают как будущие инновации, так и переход от лаборатории к заводу для производства передовых устройств памяти и логики. HORIBA предлагает новую модель MFC D700MG, основанную на давлении, совместимую с моделью D500MG для решения задач, стоящих перед заказчиками. Характеристики Изменение конфигурации газа и полной шкалы в режиме реального времени * Только EtherCAT Обеспечивает гибкость при оптимизации процесса отклик на 100 мс и контроль отклонений между МФЦ и МФЦ Обеспечивают высокую производительность и улучшают эффективность процесса Функциональность MRMG для малых расходов (Bin101 - Bin105) Обеспечивает гибкость процесса, требующего малого расхода Лучшее перекрытие клапана и коррозионная стойкость благодаря насадке из PFA Прочность с меньшим риском попадания частиц сокращает время простоя и оптимизирует выход продукции Функция контроля состояния Предоставление большего количества внутренних данных для более точного прогнозирования отказов Выходные элементы функции мониторинга состояния Отсчеты установки нуля расхода/давления Счетчики приводов клапанов Запись макс/мин давления P0, P1, P2 Запись макс/мин Температура блока Общее время превышения/понижения давления. Общее время превышения/ снижения температуры. Общее время работы Общее время контроля Общее время потока (на один экземпляр калибровки) Общий расход (для каждого экземпляра калибровки)