Термально-массовый расходомер D700MG

для газаточныйцифровой

Высокоскоростной и прецизионный модуль массового расхода, нечувствительный к давлению Критически важные процессы производства полупроводников постоянно требуют прецизионных устройств управления потоком газа, которые обеспечивают как будущие инновации, так и переход от лабораторий к заводам для производства передовых устройств памяти и логики. HORIBA предлагает новый модуль массового расхода MFC D700MG, совместимый с моделью D500MG, для решения задач, стоящих перед заказчиками. Характеристики Изменение конфигурации газа и полной шкалы на месте * Только EtherCAT Обеспечивает гибкость для оптимизации процесса 100-минутная реакция на повышение температуры и контроль отклонений между МФК и МФК Обеспечьте высокую производительность и улучшенные характеристики процесса Функциональность MRMG для малых расходов (Bin101 - Bin105) Обеспечивает гибкость процесса, требующего малого расхода Лучшее закрытие клапана и коррозионная стойкость благодаря соплу из PFA Прочность с меньшим риском попадания частиц сокращает время простоя и оптимизирует выход продукции Функция контроля состояния Предоставление большего количества внутренних данных для более точного прогнозирования отказов