Термально-массовый расходомер GF1 series

массовыйдля газалинейный

Высокочистый проточный тракт. Выдающаяся производительность, надежность и воспроизводимость. Быстрое реагирование, воспроизводимая подача технологических газов с высокой и сверхвысокой степенью чистоты - именно такие характеристики обеспечивают контроллеры и счетчики массового расхода серии GF100 с металлическим уплотнением. Серия GF100, разработанная для полупроводников, MOCVD и других применений по управлению потоком газа, превосходит стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяемость и высокую стабильность работы в течение длительного времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газов и комбинаций диапазонов, не отсоединяя его от газовой линии и не снижая точности. Результат: повышенная гибкость и эффективность процесса в сочетании с высочайшими в отрасли уровнями чистоты технологического газа, что помогает максимизировать выход и производительность. Особенности - Долгосрочная стабильность нуля <±0,5% полной шкалы в год - Время установления: 700 мс - <1 секунды - Цельнометаллическое уплотнение проточного тракта: возможность выбора поверхности с шероховатостью 4µ или 10µ дюймов Ra - Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах - Возможность программирования газа и диапазона MultiFloTM - одно устройство, тысячи типов газов и комбинаций диапазонов без отсоединения MFC от газовой линии или снижения точности - Локальный дисплей - Опциональная подача газа SDS - DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol и аналоговые интерфейсы Преимущества Высокопроизводительные компоненты прошли марафонские испытания на надежность, превышающую в семь раз стандарты полупроводниковой промышленности Полностью металлический, коррозионностойкий проточный тракт с уменьшенной площадью поверхности и незаметными объемами обеспечивает более быстрое осушение на этапах продувки