Массовый регулятор расхода GF1 series

для газа

Повышенная скорость EtherCAT® Производительность, улучшенная для полупроводниковых процессов - Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в режиме реального времени - Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0,15% дрейфа S.P. в год) обеспечивает более высокую точность низкого заданного значения и снижает требования к техническому обслуживанию - Улучшенное отключение клапана (≤ 0,15 % от диапазона корзины) уменьшает утечку через клапан для снижения эффекта первой пластины - Новая улучшенная нечувствительность к переходным процессам давления снижает чувствительность к перекрестным помехам для обеспечения стабильного массового расхода Особенности - Долгосрочная стабильность нуля <±0,15% полной шкалы в год - Время установления: 300 мс - <1 секунда - Цельнометаллическое уплотнение проточного тракта: возможность выбора варианта обработки поверхности 5µ или 10µ дюймов Ra - Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах - Возможность программирования газа и диапазона MultiFloTM - один прибор, тысячи типов газа и комбинаций диапазонов без отсоединения MFC от газовой линии или снижения точности - Удобный пользовательский дисплей и независимый диагностический/сервисный порт облегчают установку, мониторинг и устранение неисправностей прибора GF120 Safe Delivery System (SDS®) - это современный контроллер массового расхода Brooks с низким перепадом давления для подачи газов с системой безопасной подачи (SDS) в субатмосферных условиях, используемых в процессах имплантации и травления