Термально-массовый расходомер GF 125

с переменным давлениеммассовыйдля газа

Быстрое реагирование, воспроизводимая подача технологических газов с высокой и сверхвысокой степенью чистоты - именно такие характеристики обеспечивают контроллеры и измерители массового расхода серии GF100 с металлическим уплотнением. Серия GF100, разработанная для полупроводников, MOCVD и других применений по управлению потоком газа, превосходит стандарты полупроводниковой промышленности по надежности, обеспечивая повторяющиеся, высокостабильные характеристики в течение долгого времени. Стандартная технология MultiFloTM позволяет одному MFC поддерживать тысячи типов газов и комбинаций диапазонов, не отсоединяя его от газовой линии и не снижая точности. Результат: повышенная гибкость и эффективность процесса в сочетании с высочайшими в отрасли уровнями чистоты технологического газа, позволяющими максимизировать выход и производительность. Особенности Долгосрочная стабильность нуля <±0,5% полной шкалы в год Время установления: 300 мс - <700 мс или 700 мс - <1 секунды Полномасштабный расход до 300 сл/мин Проточный канал с цельнометаллическим уплотнением: возможность установки поверхности с шероховатостью 4µ или 10µ дюймов Ra Коррозионностойкий датчик Hastelloy® T-Rise улучшает воспроизводимость измерений при повышенных температурах Возможность программирования газа и диапазона MultiFloTM - один прибор, тысячи типов газов и комбинаций диапазонов без отсоединения MFC от газовой линии или снижения точности Локальный дисплей Опциональная подача газа SDS DeviceNetTM, RS-485 L-Protocol и аналоговые интерфейсы Преимущества Высокопроизводительные компоненты, прошедшие марафонские испытания, в семь раз превышающие стандарты полупроводниковой промышленности по надежности Полностью металлический, коррозионностойкий проточный тракт с уменьшенной площадью поверхности и незаметными объемами обеспечивает более быстрое осушение на этапах продувки С помощью MultiFloTM новые технологические газы и/или диапазоны могут быть установлены менее чем за 60 секунд - больше не нужно снимать и калибровать