Регулятор расхода с переменным давлением GP200

массовыйдля газааналоговый

Серия GP200 - это первый полностью нечувствительный к давлению массовый регулятор расхода (P-MFC), разработанный специально для передовых процессов травления и осаждения в производстве полупроводников. P-MFC серии GP200 имеет запатентованную архитектуру, которая позволяет преодолеть ограничения обычных P-MFC и обеспечить наиболее точную подачу технологического газа даже при подаче технологических газов с низким давлением пара. Она включает несколько уникальных конструктивных аспектов, в том числе встроенный датчик дифференциального давления в сочетании с архитектурой клапана нисходящего потока, что обеспечивает наиболее точную подачу технологического газа в самом широком диапазоне рабочих условий в отрасли. Поскольку серия GP200 поддерживает такой широкий диапазон технологических условий, она может использоваться в качестве замены и модернизации многих традиционных P-MFC и тепловых MFC. Он снижает сложность и стоимость владения системой подачи газа, поскольку устраняет необходимость в таких компонентах, как регуляторы давления и преобразователи. Получите более подробную информацию о конструкции серии GP200 и посмотрите, как она работает. Характеристики Истинное измерение дифференциального давления Работа при пониженном давлении на входе Архитектура клапана нисходящего потока Соответствующая переходная характеристика Регулирующий клапан с нулевой утечкой Технология MultiFloTM обеспечивает беспрецедентную гибкость - одно устройство может быть запрограммировано на тысячи различных конфигураций газа и диапазона расхода без удаления MFC из газовой линии или снижения точности Местный дисплей отображает расход, температуру, давление и сетевой адрес DeviceNetTM, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol и аналоговые интерфейсы