Термический расходомер 9861

массовыйдля газаиз нержавеющей стали

высокотемпературные контроллеры массового расхода (MFC) и счетчики предназначены для контроля и измерения массового расхода паров из жидких или твердых источников для поддержки растущего использования этих прекурсоров в процессах производства полупроводников. Модуль расхода в GF120xHT может выдерживать рабочую среду до 150°C. Для поддержания этого температурного диапазона электроника удалена от остальной части устройства и установлена в месте с более низкой температурой (не более 50°C). Удаленная электроника может быть смонтирована в корпусе DIN с возможностью выбора из трех вариантов длины соединительного кабеля - 3 фута, 8 футов и 16,5 футов. Широкий выбор протоколов связи и вариантов подключения делает GF120xHT идеальным выбором для технологического оборудования нового поколения и модернизации старых нагреваемых MFC. Характеристики Предназначен для работы при высоких температурах до 150°C Удобный сервисный порт обеспечивает доступ к диагностике через удобный интерфейс Коррозионностойкий датчик из сплава Хастеллой Калибровка в соответствии с технологическими условиями заказчика Преимущества Возможность работы при температурах до 150°C для подачи паров жидких прекурсоров Удобный диагностический интерфейс помогает инженеру-технологу обеспечить работу МФЦ в заданных пределах для достижения высокой производительности и максимального времени безотказной работы Обеспечивает непревзойденную долговременную стабильность датчиков для максимальной производительности и выхода продукции Калибровка при рабочей температуре и давлении заказчика для оптимальной производительности