Доказанная долгосрочная стабильность. Сверхчистые характеристики для применения при высоких температурах.
Высокотемпературный контроллер массового расхода серии 5850EMH с металлическим уплотнением от Brooks Instrument, предлагающий самые современные характеристики в области измерения и контроля высокотемпературных газов, сочетает в себе исключительную герметичность металлических уплотнений с разнообразием опций, обеспечивающих максимальную гибкость применения. Сердцем серии 5850EMH является высокостабильный датчик, который обеспечивает выходной электрический сигнал, линейно зависящий от расхода. Этот сигнал используется для индикации, записи и/или управления без необходимости использования схемы автоматического обнуления.
Особенности
- Высокая герметичность (менее 10-11 Па.м3/с (10-10 атм.см/с) He)
- Высокочистая нержавеющая сталь VAR 316L
- Без твердых частиц
Контрольные порты для проверки герметичности гелия
- Нормально закрытый клапан (нормально открытый клапан - опция)
- Переключение клапана с помощью электропривода
- Отсечка потока при низкой команде
- Функция "отключения клапана", совместимая с TTL
Преимущества
- Стабильная, проверенная платформа продукта
- Цельнометаллический проточный тракт повышает чистоту газа и снижает утечки
- Простая установка и обслуживание с аналоговыми входами/выходами
Области применения
Производство оптического волокна - MCVD, OVD, AVD
Контроль потока водяного пара
---