Доказанная долгосрочная стабильность. Сверхчистые характеристики для применения при высоком давлении.
массовые расходомеры серии 5850EM с металлическим уплотнением измеряют и контролируют потоки газа высокого давления в сверхчистых средах с проверенной стабильностью, основанной на характеристиках широко используемых МФК серии 5850E и i. Металлическая герметичная конструкция и электрополированные смачиваемые поверхности обеспечивают исключительную целостность потока и помогают повысить общую эффективность процесса благодаря отсутствию необходимости постоянного контроля и перенастройки давления газа для обеспечения стабильного потока газа.
Особенности
- Долгосрочная стабильность нуля <0,2% полной шкалы в год
- Время адаптации к изменениям команды <3 секунд с незначительными перегрузками/недогрузками
- Опциональное улучшенное внутреннее покрытие - 5 мк дюймов Ra в среднем
- Съемный датчик расхода
- Нечувствителен к положению при монтаже
- Механически и электрически совместим с другими контроллерами массового расхода
- Функция отключения клапана и продувки с поддержкой TTL
Преимущества
Цельнометаллический проточный тракт повышает чистоту газа и снижает утечки
Доказанная долгосрочная стабильность и точность в широком диапазоне процессов и применений
Отличная окупаемость инвестиций благодаря надежной работе
Съемный датчик расхода устраняет необходимость в постоянном контроле и корректировке давления газа
Простая установка и обслуживание с аналоговыми входами/выходами
Области применения
Волоконная оптика
СВЕТОДИОДЫ / MOCVD
Полупроводники
Солнечные батареи
---