Керамическая пластина

кольцеваяиз нитрида бораизоляционная

Горячепрессованный гексагональный нитрид бора часто называют "белым графитом", поскольку его структура слоев схожа с графитом. Он обладает выдающимися тепловыми характеристиками: высокой теплопроводностью и отличной стойкостью к тепловым ударам. Он стабилен при температуре до 2000 °C в восстановительной атмосфере и до 900 °C в окислительной атмосфере. Он обладает такими свойствами, как высокая обрабатываемость, низкое тепловое расширение, микроволновая прозрачность и высокая устойчивость к расплавленным металлам, шлакам и стеклу. Керамические детали из нитрида бора широко используются в качестве PVD, MOCVD, MBE систем, компонентов печей, плавильных тиглей, изоляторов, шайб, сопел, микроволновых труб, теплоотводов и экранирования теплового излучения. MOCVD-реактор - это камера, изготовленная из материала, который не вступает в реакцию с используемыми химическими веществами. Он также должен выдерживать высокие температуры. Эта камера состоит из стенок реактора, футеровки, суспензора, узлов впрыска газа и узлов контроля температуры. В реакторе MOCVD подложка поддерживается пьедесталом, который также выполняет функцию суспензора. Пьедестал/суспензор является основным источником тепловой энергии в реакционной камере. Нагревается только сусцептор, поэтому газы не вступают в реакцию до того, как они достигнут горячей поверхности подложки. Однако стенки реакционной камеры в реакторе с холодными стенками могут косвенно нагреваться за счет тепла, излучаемого горячим пьедесталом/суспендером, но при этом остаются более холодными, чем пьедестал/суспендер и подложка, которую поддерживает пьедестал/суспендер. Таким образом, нитрид бора является хорошим выбором, поскольку плотность мощности, рабочая температура, класс изоляции и диэлектрическая прочность нагревательных элементов могут быть значительно улучшены за счет использования нитрида бора в качестве изолятора.