Система погрузки/разгрузки с дистанционным управлением NWL200

автоматизированнаяуправляемая с помощью ПКс электронным управлением

Обзор
Семейство загрузчиков NWL200 обеспечивает автоматическую передачу и обработку пластин диаметром 6" (150 мм) и 8" (200 мм), с опцией для ультратонких пластин до 100 µm. Серия разработана для интеграции с оптическими микроскопами и системами видеометрии и ориентирована на высокий пропускной режим и безопасную обработку в производственных линиях контроля.

Совместимость и общие возможности

• Поддерживает диаметры пластин 6" (150 мм) и 8" (200 мм).
• Интегрируется с микроскопами Nikon Eclipse L200N, LV150N и видеометрами NEXIV VMZ‑S.
• Стандартная обработка толщин 300 µm и 200 µm; опциональный чaк для 100 µm ультратонких пластин.

Ключевые возможности и обработка

• Многорукая система загрузки/выгрузки для быстрого и точного переноса пластин.
• Быстрый подъёмник кассет с бесконтактным центрированием для точной выверки.
• Поддержка макро‑инспекции: передняя сторона, задняя периферия, центральная область.
• Программируемая скорость вращения и угол наклона (авто/ручной) для разных задач проверки.
• Вакуумный чaк макро‑руки сохраняет захват при внезапном отключении питания, позволяя безопасно извлечь пластину.

Дизайн для чистых помещений и анти‑контаминация
Непрерывный воздушный поток в зонах вакуумного зажима и центрирования минимизирует образование частиц. Нержавеющая крышка уменьшает накопление статического заряда и соответствует требованиям чистых помещений.

Безопасность и обнаружение пластин

• Датчики и конфигурация световых пучков обнаруживают деформированные или изогнутые тонкие пластины в кассете и отменяют захват для предотвращения столкновений.
• Логика предотвращения столкновений снижает риск повреждения пластин при передаче.

Удобство использования и эргономика

• Панель управления ориентирована на оператора: выбор пластины одной кнопкой, крупный LCD и структурированное меню для управления рецептами и системой.
• Позиция загрузки и замена кассеты выполнены под углом 35° влево для эргономичного доступа и ускорения операций операторов.

Удалённая эксплуатация и поддержка

• Инструмент Remote Access Web Server обеспечивает подключение к LAN через браузер‑мастер для создания, редактирования и резервного копирования инспекционных рецептов.
• Удалённая запись и резервное копирование рецептов помогают поддерживать непрерывность инспекций и оптимизировать производительность.

Технические характеристики

• Поддерживаемые диаметры пластин: 6" (150 мм) и 8" (200 мм).
• Обрабатываемая толщина: стандарт 300 µm и 200 µm; опционально 100 µm для ультратонких пластин.
• Совместимые системы: Nikon Eclipse L200N, LV150N; NEXIV VMZ‑S.
• Загрузка/выгрузка: многорукая система, быстрый подъёмник кассет, бесконтактное центрирование.
• Режимы инспекции: передняя сторона, задняя периферия, центральная зона; вращение и наклон регулируются (авто/ручной).
• Контроль загрязнения: непрерывный воздушный поток; нержавеющая крышка для снижения статического заряда.
• Безопасность: обнаружение пластин для предотвращения столкновений; вакуумный чaк сохраняет удержание при отключении питания.
• Интерфейс оператора: выбор одной кнопкой, большой LCD, управление рецептами; удалённый веб‑доступ для управления и резервного копирования рецептов.