29xx
Широкополосные системы контроля дефектов пластин с плазменным рисунком
Широкополосные системы плазменного контроля дефектов серии 295x обеспечивают прогресс в оптическом контроле дефектов, позволяя обнаруживать критические для выхода дефекты на ≤7 нм логике и передовых узлах проектирования памяти. Используя усовершенствованную технологию широкополосного плазменного освещения, а также новые технологии pixel-point™ и nano-cell™, учитывающие особенности конструкции, широкополосные плазменные инспекторы дефектов 2950 и 2955 обеспечивают чувствительность, необходимую для обнаружения критических дефектов на различных технологических слоях, типах материалов и технологических стеках. Являясь отраслевым стандартом для поточного контроля, серия 295x объединяет чувствительность и скорость оптического контроля дефектов пластин, обеспечивая Discovery at the Speed of Light™ - сочетание быстрого обнаружения дефектов и полного определения их характеристик при оптимальной стоимости владения.
Области применения
Обнаружение дефектов, обнаружение горячих точек, отладка процесса, инженерный анализ, мониторинг линии, обнаружение технологических окон
---