Оптический профилометр Zeta™-388

3Dс интерферометрией белого светадля измерения шероховатости

Бесконтактный профилометр Zeta™-388 предоставляет возможности 3D-метрологии и визуализации в сочетании со встроенным изолирующим столом и системой перемещения пластин из кассеты в кассету для полностью автоматизированных измерений. В системе используется технология ZDot™, которая одновременно собирает 3D-данные высокого разрешения и изображение True Color с бесконечным фокусом. Zeta-388 поддерживает как научно-исследовательские, так и производственные среды благодаря многомодовой оптике, простому в использовании программному обеспечению, низкой стоимости владения и коммуникациям SECS/GEM. Оптический профилометр Zeta-388 - это бесконтактная система трехмерного измерения топографии поверхности. Zeta-388 опирается на возможности Zeta-300 с добавлением устройства для обработки кассет для полностью автоматизированных измерений. Система работает на основе запатентованной технологии ZDot и оптики Multi-Mode, что позволяет измерять различные образцы: прозрачные и непрозрачные, с низким и высоким коэффициентом отражения, с гладкой и шероховатой текстурой, с высотой шага от нанометров до миллиметров. Автоматизированная оптическая метрологическая система Zeta-388 объединяет шесть различных технологий оптической метрологии в одной настраиваемой и простой в использовании системе. Режим измерения ZDot одновременно собирает 3D-сканирование высокого разрешения и изображение True Color с бесконечным фокусом. Другие методы 3D-измерений включают интерферометрию белого света, интерференционную контрастную микроскопию Номарски и интерферометрию сдвига. Толщина пленки может быть измерена с помощью ZDot или встроенного широкополосного рефлектометра. Zeta-388 также является высококлассным микроскопом, который можно использовать для просмотра образцов или автоматизированного контроля дефектов.