Профилометр 3D HRP®-260

со щупомдля измерения шероховатостидля измерения плоскостности

HRP®-260 представляет собой профилометр высокого разрешения от кассеты к кассетному стилусу. HRP предлагает проверенную временем производительность с возможностью автоматической обработки пластин, обслуживая полупроводниковые, составные полупроводниковые, высокояркостные светодиоды, системы хранения данных и смежные отрасли промышленности. Конфигурация P-260 поддерживает 2D и 3D измерения высоты ступеней, шероховатости, изгиба и напряжения при сканировании до 200 мм без сшивания. Конфигурация HRP®-260 обладает теми же возможностями, что и P-260, плюс каскад высокого разрешения для измерения небольших параметров при более высоком разрешении и более высокой пропускной способности. HRP®-260 обеспечивает возможность двухступенчатого измерения нано- и микрорельефа поверхности. Конфигурация P-260 обеспечивает возможность сканирования с большой длиной (до 200 мм) без сшивания швов, а HRP®-260 обеспечивает сканирование с высоким разрешением для сканирования документов длиной до 90 мкм. P-260 обеспечивает превосходную стабильность измерений благодаря комбинации датчика UltraLite®, постоянного контроля усилия и сверхплоской сканирующей ступени. HRP®-260 расширяет возможности пьезоэлектрического сканирования с высоким разрешением. Настройка рецептуры выполняется быстро и легко с помощью кнопок управления ступенью, оптики низкого и высокого увеличения и цифровых камер с высоким разрешением. HRP®-260 поддерживает 2D и 3D измерения с помощью различных алгоритмов фильтрации, выравнивания и анализа данных для количественной оценки рельефа поверхности. Полностью автоматизированные измерения достигаются благодаря автоматизированной обработке пластин, распознаванию образов, секвенированию и обнаружению признаков.