Настольный щуповой профилометр Tencor P-7 основан на успехе лидирующей на рынке настольной системы щупового профилирования Tencor P-17. Он включает в себя превосходные измерительные характеристики технологии P-17 в платформе, которая предлагает отличное соотношение цены и возможностей для настольного профилометра со щупом. Профилометр Tencor P-7 поддерживает 2D и 3D измерения высоты ступеней, шероховатости, изгиба и напряжения при сканировании до 150 мм без сшивки.
- Высота шага: Нанометры до 1000 мкм
- Низкое усилие с постоянным контролем усилия: от 0,03 до 50 мг
- Сканирование всего диаметра образца без сшивания
- Видео: 5 Мп цветная камера высокого разрешения
- Коррекция дуги: Устраняет ошибку, связанную с дуговым движением щупа
- Программное обеспечение: Простой в использовании интерфейс программного обеспечения
- Производственные возможности: Полная автоматизация с секвенированием, распознаванием образов и SECS/GEM
Приложения
- Высота шага: 2D и 3D высота шага
- Текстура: 2D и 3D шероховатость и волнистость
- Форма: 2D и 3D изгиб и форма
- Напряжение: 2D и 3D напряжение в тонкой пленке
- Обзор дефектов: 2D и 3D топография поверхности дефекта
---