Оптический профилометр Tencor™ P-17

3Dсо щупомдля измерения шероховатости

Tencor P-17 - это настольный щуповой профилометр восьмого поколения, созданный на основе более чем 40-летнего опыта в области метрологии поверхности. Эта ведущая в отрасли система поддерживает 2D и 3D измерения высоты ступеньки, шероховатости, изгиба и напряжения при сканировании до 200 мм без сшивки. Превосходная стабильность измерений достигается благодаря сочетанию датчика UltraLite®, постоянного контроля силы и сверхплоского сканирующего стола. Быстрая и простая настройка рецепта обеспечивается с помощью элементов управления щупом, оптики верхнего и бокового обзора и камеры высокого разрешения с оптическим зумом. Профилометр Tencor P-17 поддерживает 2D- и 3D-измерения с различными алгоритмами фильтрации, выравнивания и анализа для количественной оценки рельефа поверхности. Полная автоматизация измерений достигается за счет распознавания образов, последовательности действий и обнаружения особенностей. - Высота шага: От нанометров до 1000 мкм - Низкая сила с постоянным контролем силы: от 0,03 до 50 мг - Сканирование по всему диаметру образца без сшивания - Видео: 5 Мп цветная камера высокого разрешения - Коррекция дуги: Устраняет ошибку, связанную с дуговым движением щупа - Программное обеспечение: Простой в использовании интерфейс программного обеспечения - Производственные возможности: Полная автоматизация с секвенированием, распознаванием образов и SECS/GEM Приложения - Высота шага: 2D и 3D высота шага - Текстура: 2D и 3D шероховатость и волнистость - Форма: 2D и 3D изгиб и форма - Напряжение: 2D и 3D напряжение в тонкой пленке - Обзор дефектов: 2D и 3D топография поверхности дефекта