Оптический профилометр Zeta™-20

3Dс интерферометрией белого светадля полупроводника

Настольный оптический профилометр Zeta-20 - это бесконтактная система трехмерного измерения топографии поверхности. В системе используется запатентованная технология ZDot™ и многомодовая оптика, позволяющая измерять различные образцы: прозрачные и непрозрачные, с низким и высоким коэффициентом отражения, с гладкой и шероховатой текстурой, с высотой шага от нанометров до миллиметров. Zeta-20 объединяет шесть различных технологий оптической метрологии в одной настраиваемой и простой в использовании системе. Режим измерения ZDot™ одновременно собирает 3D-скан высокого разрешения и изображение True Color с бесконечным фокусом. Другие методы 3D-измерений включают интерферометрию белого света, интерференционную контрастную микроскопию Номарски и интерферометрию сдвига. Толщина пленки может быть измерена с помощью ZDot или встроенного широкополосного рефлектометра. Zeta-20 также является высококлассным микроскопом, который можно использовать для просмотра образцов или автоматизированного контроля дефектов. Zeta-20 поддерживает как научно-исследовательскую, так и производственную среду, обеспечивая комплексное измерение высоты ступеньки, шероховатости и толщины пленки, а также возможность контроля дефектов. Характеристики Простой в использовании оптический профилометр с оптикой ZDot и Multi-Mode для решения широкого спектра задач Области применения Высота шага: 3D высота шага от нанометров до миллиметров Текстура: 3D шероховатость и волнистость на гладких и очень шероховатых поверхностях Форма: 3D изгиб и форма Напряжение: 2D напряжение в тонкой пленке Толщина пленки: толщина прозрачной пленки от 30 нм до 100 мкм Проверка дефектов: захват дефектов размером более 1 мкм Просмотр дефектов: Файлы KLARF используются для навигации по дефектам с целью измерения 3D-топографии поверхности или вычерчивания мест дефектов