Профилометр 3D Tencor™ P-170

со щупомдля измерения шероховатостипромышленный

Tencor P-170 - это кассетный профилометр, в котором используются лучшие в отрасли настольные измерительные системы P-17 и проверенный на производстве манипулятор HRP®-260. Эта комбинация обеспечивает низкую стоимость владения системой на базе манипулятора, обслуживающей полупроводниковую, комбинированную полупроводниковую и смежные отрасли промышленности. Tencor P-170 поддерживает 2D и 3D измерения высоты ступеньки, шероховатости, изгиба и напряжения при сканировании до 200 мм без сшивания. Отличная стабильность измерений достигается благодаря сочетанию датчика UltraLite®, постоянного контроля силы и сверхплоского сканирующего стола. Быстрая и простая настройка рецепта достигается благодаря элементам управления этапом, оптике верхнего и бокового обзора и камере высокого разрешения с оптическим зумом. Tencor P-170 поддерживает 2D- и 3D-измерения, а для количественной оценки рельефа поверхности доступны различные алгоритмы фильтрации, выравнивания и анализа данных. Полностью автоматизированные измерения достигаются благодаря автоматической обработке пластин, распознаванию образов, последовательности и обнаружению особенностей. - Высота шага: От нанометров до 1000 мкм - Низкая сила с постоянным контролем силы: от 0,03 до 50 мг - Сканирование по всему диаметру образца без сшивания - Видео: 5 Мп цветная камера высокого разрешения - Коррекция дуги: Устраняет ошибку, связанную с дуговым движением щупа - Программное обеспечение: Простой в использовании интерфейс программного обеспечения - Производственные возможности: Полная автоматизация с секвенированием, распознаванием образов и SECS/GEM - Устройство для обработки пластин: Автоматическая загрузка непрозрачных (например, кремний) и прозрачных (например, сапфир) образцов размером от 75 до 200 мм Приложения - Высота шага: 2D и 3D высота шага - Текстура: 2D и 3D шероховатость и волнистость