Системы контроля дефектов заготовок с ретикулами
Система контроля дефектов заготовок масок FlashScan® 211 помогает масочным цехам и производителям заготовок выполнять требования к дефектам заготовок масок для оптической и EUV-литографии. Система FlashScan 211 сочетает высокую чувствительность с непревзойденной скоростью контроля и автоматической сортировкой дефектов, сокращая время получения результатов для широкого спектра приложений.
Области применения
Производство заготовок масок, квалификация заготовок масок, контроль процесса изготовления ретикулы, мониторинг оборудования процесса изготовления ретикулы
---