Мембранный клапан

пневматическийдля регулировкидля газа

Мембранный клапан для сверхвысокой чистоты
ПНЕВМАТИЧЕСКИЙ МЕМБРАННЫЙ КЛАПАН С НИЗКИМ ДАВЛЕНИЕМ УПЛОТНЕНИЯ

Особенности
Корпус

• Корпус из нержавеющей стали 316L VIM‑VAR для применений с ультравысокой чистотой.
• Шероховатость внутренней поверхности может достигать Ra 5 µin; потоковый канал полностью очищается.
• Конструкция минимизирует зоны захвата, облегчает продувку и максимизирует пропускную способность.

Мембрана

• Материал Hastelloy C‑22 или кобальтосодержащие суперсплавы (UNS R30003) для прочности и коррозионной стойкости.
• Оптимизированная конструкция для длительного срока службы в циклах.

Седло

• Конструкция седла полностью с PCTFE, обеспечивающая отличную стойкость к набуханию и загрязнению.
• Улучшенные показатели герметичности при тестах на утечку гелием.
• Минимальное образование частиц и длительный срок службы в циклах.

Дополнительные характеристики продукта

• Сборка и упаковка высокой чистоты, пригодные для отрасли полупроводников высокой чистоты.
• Каждый продукт проходит гелиевый тест перед отгрузкой с завода.

Технические данные
Технические иллюстрации и принципиальные чертежи размеров прилагаются для справки (размеры в миллиметрах указаны ориентировочно и могут быть изменены).

Размеры продукта
Размеры, указанные на чертежах продукта, зависят от модели; для точных размеров обращайтесь к спецификациям заказа или чертежам продукта.

Форма поточного канала
Геометрия поточного канала оптимизирована для минимизации зон захвата и максимизации пропускной способности; подробности см. в иллюстрациях поточного канала.

Информация для заказа
Предоставляются стандартные спецификации заказа и иллюстрации моделей. Доступны индивидуальные спецификации и модели в соответствии с информацией для заказа.