Мембранный клапан HD

пневматическийс регулировкой расходаизоляционный

Пневматический мембранный клапан HD Series — 316L нержавеющая сталь, высокой чистоты, высокого давления для лабораторных специальных газов

Применение и назначение
Пневматический мембранный клапан HD Series обеспечивает автоматическое управление потоком и перекрытие в высокочистых лабораторных газовых системах. Предназначен для полупроводниковой, аналитической и исследовательской среды; управляет высоконапорными специальными газами (горючими, токсичными, инертными) и интегрируется с системами блокировок для дистанционного и повторяемого управления.

Основные технические характеристики

• Материал для высокого давления: корпус из 316L VIM-VAR нержавеющей стали, рабочее давление до 3 000 psig в зависимости от конфигурации.
• Высокочистая обработка поверхности: влажные каналы доведены до Ra 10 μin или ниже (типично до Ra 5 μin) для минимизации генерации частиц и задержки влаги.
• Герметичное мембранное уплотнение: металло‑к‑металлу диафрагма без эластомерных уплотнений, герметичность по гелию < 1×10-9 atm cc/sec.
• Пневматическая автоматика: доступно в исполнении NC (Normally Closed) или NO (Normally Open) с пневмоприводом для быстрого безискрового переключения.

Монтаж и инструкции по безопасности
Оперировать и монтировать в чистой среде. Использовать интегрированное VCR face-seal или стыковую сварку с новыми прокладками. Подавать чистый сухой инструментальный воздух на заданном пилотном давлении. Перед подачей активных газов выполнить проверку на утечки гелием и продувку сухим азотом.

HD SERIES
ПНЕВМАТИЧЕСКИЙ МЕМБРАННЫЙ КЛАПАН ВЫСОКОГО ДАВЛЕНИЯ

Особенности
Корпус

• Корпус из 316L VIM-VAR нержавеющей стали для ультравысокочистых применений.
• Внутренняя отделка достижима до Ra 5 μin; проток полностью очищаем.
• Минимальные застойные зоны для облегчения продувки и максимизации пропускной способности.

Диафрагма

• Варианты из Hastelloy C-22 или кобальтосодержащей суперсплава (UNS R30003) для прочности и коррозионной стойкости.
• Оптимизированная конструкция для длительного ресурса циклов.

Седло

• Полностью заключенное седло из PCTFE устойчиво к набуханию и загрязнению, улучшает гелием герметичность и снижает генерацию частиц.
• Сборка и упаковка высокой чистоты, соответствующие требованиям полупроводниковой отрасли.
• Каждый продукт проходит гелиевое испытание перед отгрузкой.

Технические данные
Размеры в миллиметрах приведены для справки и могут изменяться в зависимости от конфигурации.

Информация для заказа
Стандартные конфигурации включают пневмоприводы NC/NO, VCR face-seal или стыковую сварку, а также варианты материалов диафрагмы/седла. См. таблицы заказа на странице продукта.

Технические характеристики

• Материал корпуса: 316L нержавеющая сталь (VIM-VAR)
• Максимальное рабочее давление: до 3 000 psig (см. таблицы для конкретных конфигураций)
• Внутренняя отделка: до Ra 5 μin (типично Ra ≤ 10 μin для влажных каналов)
• Герметичность: гелиевая утечка < 1×10-9 atm cc/sec (диафрагма металл-к-металлу)
• Материалы диафрагмы: Hastelloy C-22 или кобальтосодержащая суперсплав (UNS R30003)
• Материал седла: полностью заключенное PCTFE
• Привод: пневматический; доступен NC (Normally Closed) или NO (Normally Open)
• Концевые соединения: интегрированное VCR face-seal или стыковая сварка
• Чистота: сборка и упаковка высокой чистоты; гелиевое тестирование каждой единицы
• Применение: лабораторные специальные газы, газовые системы для полупроводников и аналитики, газовая хроматография, научно-исследовательские институты