Мембранный клапан LD

с ручным управлениемдля регулировкидля регулирования расхода

LD SERIES
РУЧНОЙ ДИАФРАГМЕННЫЙ КЛАПАН НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Обзор
Ручной диафрагменный клапан низкого давления, предназначенный для регулирования газов высокой и ультравысокой чистоты в полупроводниковых, лабораторных и промышленных процессах. Типичные применения: распределение газа, продувка и отбор проб, где требуются минимальные зоны захвата и низкая генерация частиц.

Корпус

• Корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR для применений с ультравысокой чистотой.
• Внутренняя шероховатость поверхности может достигать Ra 5 μin, что обеспечивает полную очистку канала потока.
• Конструкция минимизирует зоны захвата, облегчает продувку и максимизирует пропускную способность.

Диафрагма

• Материалы диафрагмы: Hastelloy C-22 или кобальтосодержащие суперсплавы (UNS R30003) для прочности и коррозионной стойкости.
• Оптимизированная конструкция для длительного ресурса при циклической работе.

Седло

• Полностью содержащаяся конструкция седла из PCTFE, обеспечивающая устойчивость к набуханию и загрязнению.
• Улучшенные показатели при гелиевых испытаниях на герметичность, минимальная генерация частиц и длительный ресурс.
• Сборка и упаковка высокой чистоты, подходящие для полупроводниковой и высокочистой газовой промышленности.
• Каждый продукт проходит гелиевое испытание на утечку перед отгрузкой.

Технические данные
Технические чертежи и данные представлены в виде изображений на странице изделия, включая размерные чертежи и иллюстрации канала потока.

Размеры изделия
Размеры (в миллиметрах) приведены для справки и могут быть изменены; для детальных размеров см. чертежи изделия.

Форма потока
Канал потока и внутренняя геометрия показаны на изображениях продукта для иллюстрации пути с низким захватом и высокой чистотой потока.

Информация для заказа
Изображения на странице продукта показывают стандартные спецификации заказа; доступны иные спецификации и модели.

Технические характеристики

• Серия: LD SERIES (ручной диафрагменный клапан низкого давления).
• Материал корпуса: нержавеющая сталь 316L VIM-VAR.
• Внутренняя шероховатость: может достигать Ra 5 μin.
• Варианты материала диафрагмы: Hastelloy C-22 или кобальтосодержащие суперсплавы (UNS R30003).
• Седло: полностью содержащаяся конструкция седла из PCTFE.
• Рабочие характеристики: разработан для минимизации зон захвата, облегчения продувки и максимизации пропускной способности.
• Чистота: сборка и упаковка высокой чистоты, подходящие для полупроводниковых/высокочистых газовых применений.
• Контроль качества: каждому изделию проводится гелиевый тест на герметичность.
• Документация: размерные чертежи и иллюстрации канала потока предоставлены как изображения на странице изделия.