Обзор- Пневматический мембранный клапан HD SERIES для высоких давлений, разработан для приложений с ультрачистой средой, подходит для полупроводниковой отрасли, лабораторий и других высокотехнологичных отраслей.
Особенности- Конструкция для ультрачистой среды, минимизирующая зоны загрязнения и задержки.
- Оптимизированный потоковый канал для полной очистки, продувки и максимальной пропускной способности.
- Сборка и упаковка высокой чистоты, соответствующие требованиям полупроводниковой промышленности.
- Каждый продукт перед отправкой проходит проверку на герметичность гелием.
Корпус- Материал: нержавеющая сталь 316L VIM‑VAR для приложений с ультрачистой средой.
- Шероховатость внутренней поверхности до Ra 5 μin, обеспечивающая полную очистку потокового канала.
- Конструкция минимизирует зоны задержки, облегчает продувку и максимизирует пропускную способность.
Мембрана- Варианты материалов: Hastelloy C‑22 или кобальтосодержащий суперсплав (UNS R30003) для прочности и коррозионной стойкости.
- Оптимизированная конструкция для длительного ресурс при циклической работе.
Седло- Полностью заключённое седло из PCTFE обеспечивает отличную устойчивость к набуханию и загрязнениям.
- Улучшенная герметичность при проверке гелием и минимальное образование частиц.
- Спроектировано для длительного срока службы в циклах.
Технические данныеТехнические схемы и чертежи размеров приведены на странице продукта. Размеры указаны в миллиметрах и служат лишь для справки, могут быть изменены.
Размеры изделияРазмеры в миллиметрах приведены для справки и могут быть изменены.
Информация для заказаПредставлены стандартные технические условия и варианты моделей (информация для заказа доступна в документации продукта и изображениях на странице продукта).
Характеристики / технические спецификации- Серия: HD SERIES
- Материал корпуса: 316L VIM‑VAR нержавеющая сталь
- Шероховатость внутренней поверхности: до Ra 5 μin
- Материалы мембраны: Hastelloy C‑22 или кобальтосодержащий суперсплав (UNS R30003)
- Материал/конструкция седла: полностью заключённое седло из PCTFE
- Чистота: сборка и упаковка высокой чистоты для полупроводниковых применений
- Испытания: проверка на утечку гелием выполнена для каждой единицы
- Применения: полупроводники, лабораторные специальные газы, распределение промышленных газов и другие системы газов высокой чистоты