Мембранный клапан LD

пневматическийс ручным управлениемизоляционный

Обзор продукта
Мембранный клапан Jewellok LD SERIES из нержавеющей стали 316L VIM‑VAR для сверхвысокой чистоты обеспечивает изоляцию среды в системах распределения газов для полупроводников. Разработан для чистых помещений, управляет специальными, опасными и коррозионными газами в коробках коллекторов клапанов, газовых шкафах и точках использования, где требуется отсутствие загрязнений.

Ключевая инженерия

• Металлургия VIM VAR: двойное вакуумное переплавление и ковка 316L для уменьшения неметаллических включений, повышения коррозионной стойкости и минимизации риска гидридной хрупкости.
• Электрополированные увлажнённые каналы: внутренние каналы электрополированы до ультра‑гладкой поверхности (< 5 μin Ra) для снижения задержания частиц и улучшения продувки.
• Герметичное уплотнение мембраны: металлическое уплотнение «металл‑к‑металлу» из высокопрочных сплавов без мягких эластомеров; утечка гелия < 1×10-9 atm·cc/s.
• Нулевая мёртвая зона: оптимизированная внутренняя архитектура предотвращает виртуальные утечки и застой сред, защищая субмикронные процессы на пластинах от следовых примесей.

Инструкции по установке и безопасности
Клапаны упакованы в двойной пакет для обращения в чистых помещениях. Устанавливать только в сертифицированной чистой среде. Ориентировать корпус по стрелке потока и подключать с помощью интегрированных VCR‑фасонных соединений с металлическими прокладками. Перед подачей токсичных или пирофорных сред провести испытание на герметичность гелием и цикл продувки азотом. Планируйте регулярные проверки для контроля работы пневматического или ручного привода.

LD SERIES — Низкодавленческий ручной мембранный клапан
Особенности

• Корпус: нержавеющая сталь 316L VIM‑VAR, пригодная для применения в системах сверхвысокой чистоты; шероховатость смачиваемых поверхностей < 5 μin Ra; конструкция минимизирует зоны захвата, облегчает продувку и максимизирует пропускную способность.

Мембрана

• Hastelloy C‑22 или кобальтосодержащие суперсплавы (UNS R30003) для высокой прочности и коррозионной стойкости; оптимизированы для длительного ресурса циклов.

Седло

• Полностью заключённое седло из PCTFE, устойчивое к набуханию и загрязнению, снижает генерацию частиц и улучшает показатели герметичности по гелию; сборка и упаковка по строгим процедурам чистоты.
• Каждый продукт проходит проверку на утечку гелием перед отгрузкой.

Технические данные
Предоставляются чертежи размеров и схемы каналов потока для справки (размеры в миллиметрах; могут быть изменены).

Форма канала потока
Оптимизированная геометрия канала для снижения мёртвого объёма и повышения эффективности продувки.

Информация для заказа
Доступны стандартные спецификации заказа и конфигурации моделей; см. таблицы заказа или документацию продукта для доступных опций.

Технические характеристики

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups