Массовый спектрометр HALO 201 MBE

для процессадля наблюдениядля анализа газа

Система газового анализа для применения в молекулярно-лучевой эпитаксии Системы Hiden HALO предназначены для RGA, газового анализа и мониторинга процессов, включая обнаружение утечек, анализ тенденций и исследование вакуума. Производство полупроводников Топливные элементы Анализатор для MBE изготовлен из совместимых материалов и предназначен для длительного использования в среде MBE. В стандартную комплектацию входит молибденовая проводка вместо медной и устойчивый к загрязнению кожух источника ионов. Молибденовая проводка вместо медной для увеличения срока службы системы RGA в условиях MBE Защитный кожух источника ионов, устойчивый к загрязнениям Двойной умножитель электронов Фарадея/канальная пластина Минимальное обнаруживаемое парциальное давление до 2 x 10-13 мбар Опция терморасширителя для работы RGA во время запекания