Для анализа остаточного газа
Анализатор остаточных газов для вакуумного анализа отпечатков пальцев, обнаружения утечек и анализа тенденций. Простое интуитивно понятное программное обеспечение обеспечивает сбор, представление и хранение данных в режиме реального времени.
Анализ остаточных газов
Обнаружение утечек
Десорбция
Исследования газовыделения
Циклы отжига
Производительность насоса
Загрязнения технологического газа
Тонкопленочное оптическое покрытие
Анализаторы остаточных газов предоставляют множество дополнительной информации о состоянии вашего вакуума по сравнению, например, с манометрами общего давления.
Для обнаружения утечек можно использовать любой поисковый газ, в лаборатории обычно предпочитают гелий или аргон.
Водяной пар и углеводородное загрязнение легко обнаруживаются. Специфичность, скорость и динамический диапазон делают анализаторы остаточных газов одним из самых полезных манометров для диагностики вакуума.
Анализаторы остаточных газов HALO RGA выпускаются с диапазоном масс 100, 200 или 300 amu с детектором Фарадея, обеспечивающим обнаружение до 2×10-11 мбар, и двойным детектором Фарадея / вторичным электронным умножителем (SEM) с обнаружением до 2×10-13 мбар.
Варианты диапазона масс 100, 200 и 300 amu
Быстрый доступ к гистограмме, анализу тенденций и аналоговым пиковым дисплеям
Смешанный режим сканирования, анализ трендов, гистограмма и аналоговые пики в многооконном дисплее, например
Идентификация вакуумных видов с автоматическим анализом
Одновременное отображение в реальном времени графических и табличных данных анализа трендов
Сбор данных с нескольких систем через Ethernet
Встроенная масс-спектральная библиотека с возможностью полного редактирования
Возможность экспорта данных в формат ASCII.
---