Источник ионов для масс-спектрометров HAL 201 RC

Анализатор остаточных газов, сконфигурированный для сложных приложений сверхвысокого вакуума Hiden RGA для сверхвысокого напряжения разработаны и сконфигурированы для анализа остаточных газов в сложных приложениях, где требуются критические измерения при сверхвысоком напряжении. Анализ остаточных газов Обнаружение утечек Десорбция Исследования газовыделения Циклы отжига Производительность насоса Загрязнения технологического газа В стандартную комплектацию анализатора HAL 201 RC входят позолоченные версии всех типов ионных источников. Позолоченный источник ионов предназначен для минимизации газовыделения источника и подходит для приложений, где общее давление составляет < 5 x 10-10 мбар. EPICS - это стандартное программное обеспечение для управления приборами, используемое во многих источниках света по всему миру, и система Hiden HAL полностью совместима с программными драйверами EPICS. Источники ионов с золотым покрытием для минимизации газовыделения источника Электронно-ударный ионизатор с иридиевой нитью с двойным оксидным покрытием Двойной мультиплерный детектор электронов Фарадея/каналотрона Минимальное обнаруживаемое парциальное давление 5 x 10-14 мбар Максимальное рабочее давление 1 x 10-4 мбар