Системы для исследования компонентов, присутствующих в емкости или выходящих из процесса
С диапазоном измерения парциального давления от сверхвысокого вакуума до 0,01 Па (10-4 мбар).
Системы отбора проб с дифференциальной откачкой расширяют диапазон давления отбора проб для вакуумного мониторинга процесса, а также, при необходимости, для применения в газовом анализе.
Все анализаторы остаточных газов Hiden проходят прикладные испытания и калибровку для обеспечения высочайшего качества работы, на них предоставляется 3-летняя гарантия и пожизненная сервисная поддержка.
Анализ остаточных газов
Обнаружение утечек
Десорбция
Исследования газовыделения
Циклы отжига
Производительность насоса
Загрязнения технологического газа
Тонкопленочное оптическое покрытие
Варианты диапазона масс: 50, 100, 200, 300 или 510 amu.
Варианты детекторов обеспечивают чувствительность от высокого вакуума до сверхвысокого вакуума, UHV.
Стабильность (менее ±0,5% колебаний высоты в течение 24 ч)
MASsoft управление через RS232, USB или несколькими системами через Ethernet LAN
Быстрый доступ к отображению гистограммы, анализа трендов и аналоговых пиков
Смешанный режим сканирования, например, тренд, гистограмма и аналоговые пики в нескольких окнах
Одновременное отображение в реальном времени графических и табличных данных анализа трендов
Курсор для определения высоты пика под управлением мыши
Вычитание фона в реальном времени, автоматическое выравнивание шкалы масс
Возможность экспорта данных в формат ASCII и на все устройства Windows
netMASsoft, встроенный веб-сервер для работы с RGA из вашего веб-браузера
---