Ультрафиолетовый мини-спектрометр C16767MA-01

CMOSдля полупроводниковой промышленностиOEM

Обзор
C16767MA-01 — ультракомпактная высокочувствительная головка мини-спектрометра для ультрафиолетового диапазона (190 нм–440 нм). Предназначена для простой интеграции в компактные и переносные аналитические приборы для промышленного мониторинга и полевых измерений.

Ключевые характеристики

• Размер fingertip: 20,1 мм × 12,5 мм × 10,1 мм
• Вес: 5 г
• Спектральный диапазон: 190 нм до 440 нм
• Спектральное разрешение (тип.): 3,2 нм; (макс.): 5 нм
• Поддержка синхронизированной интеграции (электронный затвор)
• Охлаждение: без охлаждения
• Коэффициент пересчёта длины волны указан в листе финальной инспекции

Технология / Конструкция
C16767MA-01 использует CMOS-линейный сенсор изображения с интегрированной щелью, сформированной травлением, и отражающую вогнутую решётку, изготовленную методом наноимпринтинга. Сенсор обладает повышенной устойчивостью к УФ и имеет фильтр подавления рассеянного света, сформированный на сенсоре, который снижает попадание дифракционного рассеянного света и повышает достоверность сигнала в УФ-диапазоне.

Примеры применения

• Анализ качества воды (органические соединения, BOD)
• Атмосферный мониторинг газов (например, NO, SO2)
• Контроль UV-LED (UV-A, UV-B, UV-C)
• Мониторинг процессов в полупроводниковой промышленности (диагностика плазмы и технологических газов)

Примеры измерений (примечания)
Демонстрационные модули на базе C16767MA-01 показали измерения нитратной и азотистой кислот, BOD и отдельных органических соединений (например, антрацен), которые в рамках отдельных анализов хорошо коррелируют с результатами больших настольных спектрофотометров. Для подробных условий испытаний и процедур калибровки см. примечания к применению.

Технические характеристики

• Диапазон спектральной чувствительности: 190 нм до 440 нм
• Спектральное разрешение (FWHM) (тип.): 3,2 нм
• Спектральное разрешение (FWHM) (макс.): 5 нм
• Охлаждение: без охлаждения
• Датчик: CMOS-линейный датчик изображения с интегрированной щелью
• Общее количество пикселей: 288
• Типичные условия измерения: Ta = 25 °C, если не указано иное