Мини-спектрометр в УФ-видимом диапазоне C16767MA

ультрафиолетовыйCMOSдля полупроводниковой промышленности

Обзор
C16767MA — высокочувствительная ультракомпактная головка спектрометра, оптимизированная для ультрафиолетовой области (190–440 нм). Предназначена для интеграции в компактные или мобильные измерительные системы, требующие детекции в глубоком и ближнем UV.

Особенности

• Размер «кончик пальца»: 20,1 × 12,5 × 10,1 мм
• Масса: 5 г
• Спектральный диапазон отклика: 190–440 нм
• Высокая чувствительность для UV‑измерений
• Спектральное разрешение: до 8 нм (max.), типичное 5,5 нм (FWHM)
• Поддержка синхронизированной интеграции (функция электронного затвора)
• Предназначен для интеграции в мобильное измерительное оборудование
• Коэффициент преобразования длины волны указан в листе окончательной проверки

Применения / Примеры использования

• Анализ качества воды (примеры измерений: азотная кислота, азотистая кислота, БПК)
• Анализ атмосферы (NO, SO2 и др.)
• Мониторинг UV‑LED и UV‑диапазонов: UV‑A, UV‑B, UV‑C
• Контроль процессов в полупроводниковой промышленности (плазма, газы и т.д.)

Технология и конструкция
Серия C16767MA использует линейный CMOS‑датчик изображения со встроенной щелью, выполненной методом травления, и отражающее вогнутое дифракционное решето, изготовленное методом наноимпринт‑литографии. Датчик изображения улучшен для устойчивости к УФ‑излучению, а на датчике сформирован фильтр подавления рассеянного света с помощью фирменного опто‑полупроводникового процесса для снижения рассеянного света, возникающего при дифракции.

Дополнительные технические примечания
Модуль не охлаждается; используется линейный CMOS‑датчик изображения со встроенной щелью; общее число пикселей: 288. Условия измерений, если не указано иное: Ta = 25 °C.

Технические характеристики

• Спектральный диапазон отклика: 190–440 нм
• Спектральное разрешение (FWHM) (тип.): 5,5 нм
• Спектральное разрешение (FWHM) (макс.): 8 нм
• Охлаждение: без охлаждения
• Встроенный датчик: линейный CMOS‑датчик изображения со встроенной щелью
• Общее число пикселей: 288 пикселей
• Условия измерения: тип. Ta = 25 °C (если не указано иное)
• Размеры: 20,1 × 12,5 × 10,1 мм
• Масса: 5 г
• Поддерживает синхронизированную интеграцию (электронный затвор)