Прибор для контроля для полупроводников

На предприятиях по производству сырья и полупроводниковых пластин, расположенных выше по течению, независимо разработанная оптическая система обнаружения светлого и темного поля используется для выявления дефектов внешнего вида полупроводникового сырья, эпитаксиальных пластин и пластин с рисунком. Преимущества продукции: - Применяется для различных пластин Подходит для 4-8-дюймовых пластин, подложек, эпитаксиальных пластин и узорчатых пластин - Может обнаруживать различные дефекты Обнаружение частиц, ям, неровностей, царапин, пятен, трещин и других дефектов - Высокое разрешение Разрешение системы: 1-10 мкм - Высокая скорость обнаружения Без шаблона пластины: 180 секунд на пластину при количестве дефектов менее 200