Микроскоп с полевой эмиссией катода (FESEM) HEM6000

для лабораторийдля анализа материаловдля полупроводника

Высокоскоростной сканирующий электронный микроскоп для получения поперечных изображений образцов большого объема CIQTEK HEM6000 использует такие технологии, как высокояркая электронная пушка с большим пучком тока, высокоскоростная система отклонения электронного пучка, высоковольтное замедление столика образца, динамическая оптическая ось, иммерсионный электромагнитный и электростатический комбинированный объектив для получения высокоскоростных изображений при обеспечении наномасштабного разрешения. Автоматизированный процесс работы разработан для таких применений, как более эффективная и интеллектуальная обработка изображений высокого разрешения на больших площадях. Скорость получения изображений может быть более чем в 5 раз выше, чем у обычного полевого эмиссионного сканирующего электронного микроскопа (Fesem). 1. Скорость получения изображения: 10 нс/пиксель, 2*100 М пикселей/с 2. Разрешение: 1,3 нм@3 кВ, SE; 1,5 нм@1 кВ, SE; 0,9 нм@30 кВ, STEM 3. Напряжение ускорения：0,1 кВ~6 кВ (режим замедления)，6 кВ~30 кВ (режим без замедления) 4. Поле зрения：Максимум 1*1 мм2, высокое разрешение с минимальным искажением 64*64 мкм2 5. Повторяемость этапа：X ±0,6 мкм, Y ±0,3 мкм 6. Система фильтрации электронов сигнала：SE/BSE переключение без сигнала, смешивание с регулируемым соотношением 7. Полностью электростатическая высокоскоростная система отклонения пучка：Высокое разрешение изображения большого поля достижимо Максимально. Поле зрения до 32 мкм*32 мкм при 4 нм на пиксель 8. Технология замедления ступени образца: уменьшение напряжения приземления падающих электронов, повышение эффективности захвата сигнальных электронов 9.Электромагнитная и электростатическая система отклонения пучка объектива: магнитное поле объектива погружает образец, способствуя получению изображений высокого разрешения с низким уровнем аберраций