Относительный датчик давления SE103

абсолютныйкремнийMEMS

Модель SE103 разработана как пьезорезистивный датчик давления для измерения избыточного (относительного) или абсолютного давления общего назначения. Датчики изготавливаются по технологии MEMS на кремнии на 6″ пластинах. Модель SE103 имеет размеры 1,7 мм x 1,7 мм. По сравнению с SE101, SE103 имеет полостную структуру вместе с кремниевой мембраной вместо кремниевого ограничения. Благодаря этому SE103 имеет меньшую погрешность нелинейности и может использоваться для калибровочных или дифференциальных измерений без ограничения. Разработанный как некомпенсированный сенсорный элемент, SE103 выпускается в виде замкнутой мостовой схемы из 4 паяльных площадок. Перед упаковкой каждая матрица датчика SE103 тестируется и проверяется. В качестве опций доступны три типа упаковки, отвечающие различным маркетинговым требованиям.