Относительный датчик давления SE103

абсолютныйкремнийMEMS

Модель SE103 предназначена для манометрических измерений (относительного) или абсолютного давления общего назначения. Будучи пьезорезистивным датчиком, SE103 основан на технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Формат матрицы составляет 1,7 x 1,7 мм х 1,7 мм. По сравнению с SE101, SE103 имеет структуру полости вместе с кремниевой мембраной, а не силиконовое ограничение. Благодаря этому SE103 достигает более низкой погрешности нелинейности и может использоваться для манометрических или дифференциальных измерений без каких-либо ограничений. Разработанный как матрица без компенсации, SE103 доступен в замкнутом мостовом контуре из 4 паяльных колодок. Перед упаковкой каждый датчик SE103 подвергается испытаниям и осмотру. В качестве опции для удовлетворения различных маркетинговых потребностей предлагаются три типа упаковки.