Линейные системы нанопозиционирования

Повторяемость: 50 nm
Ход: 11, 20 mm

... Средний размер SMARPOD 110.45 имеет диаметр опорной плиты 110 мм и обеспечивает перемещение на 20 мм в направлениях X и Y. SMARPOD 110.45 может позиционировать полезную нагрузку до 5 Н и обеспечивает перемещение на 20 мм в направлениях ...

Повторяемость: 50 nm
Ход: 42, 24 mm

... SMARPOD 225.75 имеет диаметр основания 225 мм и обеспечивает перемещение на 42 мм в направлениях X и Y. SMARPOD 225.75 способен выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Это один из самых больших SmarAct SMARPOD, предлагающий диапазон перемещения ...

Повторяемость: 50 nm
Ход: 30, 50, 10 mm

... Этот среднеразмерный SMARPOD основан на параллельно расположенных каскадах SLC-17, обеспечивающих перемещение на 50 мм в направлении X. SMARPOD P-SLC-17 может выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Он основан на другом механизме, чем ...

Повторяемость: 50 nm
Ход: 17, 102, 62 mm

... Крупногабаритный SMARPOD основан на параллельно расположенных каскадах SLC-24, обеспечивающих большой ход в 102 мм в направлении X. SMARPOD P-SLC-24 может выдерживать полезную нагрузку до 5 Н. Он основан на другом механизме, чем круглые ...

Повторяемость: 100 nm
Ход: 17, 62, 330 mm

... В крупногабаритном SMARPOD используются три каретки серии CLL, обеспечивающие чрезвычайно большой диапазон перемещения 330 мм в направлении X. В SMARPOD P-CLL используются позиционеры SLC для перемещения в направлении Y и каретки CLL ...