Массовые расходомеры HORIBA

Объемный расход: 0 l/min - 0,1 l/min
Температура процесса: 0 °C - 80 °C
Давление процесса: 1,1 bar - 3,5 bar

... Критически важные процессы производства полупроводников постоянно нуждаются в прецизионных устройствах управления потоком газа, которые обеспечивают как будущие инновации, так и переход от лаборатории к заводу для производства передовых устройств памяти ...

Температура процесса: 0 °C - 80 °C
Давление процесса: 0,13 bar - 4 bar
Повторяемость: 0,01 % - 0,3 %

... В D700WR установлен новый дроссель, разработанный специально для применения в широком диапазоне регулирования с высокой точностью характеристик на основе технологии CRITERION™. D700WR может регулировать расход до 0,1% от полного диапазона шкалы, что помогает ...

Температура процесса: 0 °C - 80 °C
Давление процесса: 3,5 bar - 7,5 bar
Повторяемость: 0,03 % - 0,3 %

... Этот передовой модуль массового расхода, нечувствительный к давлению, оснащен датчиком перепада давления и клапаном с пьезоприводом. Высокий уровень производительности, обеспечиваемый CRITERION D500, позволяет использовать его для ряда ...

Температура процесса: 15 °C - 45 °C
Давление процесса: 2,4 bar - 4,12 bar

... D700uF (Micro Flow) предназначен для работы с потоком ≤ 5SCCM. контроль расхода ≤ 5SCCM очень важен в процессах с высоким аспектным отношением Специализированные компоненты и недавно разработанный собственный стандарт низкого расхода позволяют с высокой ...

Температура процесса: 15 °C - 60 °C
Давление процесса: 2,4 bar - 3,5 bar

... D700T - это модуль массового расхода с наилучшими характеристиками, чувствительный к давлению, разработанный для критически важных процессов производства полупроводников. В D700T адаптирована технология измерения и управления расходом ...

Объемный расход: 0,1, 0,3 l/min
Давление процесса: 0,5 bar - 4 bar
Повторяемость: 0,15, 0,01 %

... газовые линии имеют линейный регулятор, датчик давления и фильтр, чтобы избежать явления перекрестных помех контроллера массового расхода, вызванных колебаниями давления. Серия SEC-Z700S демонстрирует высокую стабильность и управляет ...

... новейшей модели в серии ультратонких контроллеров массового расхода. Этот продукт увеличивает полномасштабный расход*1 примерно в семь раз по сравнению с предыдущими моделями и достигает максимального массового расхода ...

Объемный расход: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Температура процесса: 5 °C - 50 °C
Давление процесса: 0,5 bar - 3 bar

... влияния вторичного разряда (испарения) и делает возможным точное измерение скорости потока. Структура/принцип работы В массовых расходомерах серий LV-F и LF-F используется один и тот же принцип измерения. LV-F также ...