Электронный микроскоп с разверткой в проходящем свете Spectra Ultra

для контроля качествадля испытания материаловдля полупроводника

Сканирующий просвечивающий электронный микроскоп для визуализации и спектроскопии чувствительных к пучку материалов. Сканирующий просвечивающий электронный микроскоп Spectra Ultra Чтобы по-настоящему оптимизировать визуализацию в TEM и STEM, EDX и EELS, может потребоваться получение разных сигналов при разных ускоряющих напряжениях. Правила могут варьироваться от образца к образцу, но общепринято, что: 1) наилучшие изображения получаются при максимально возможном ускоряющем напряжении, выше которого происходит видимое повреждение; 2) EDX, особенно при картировании, выигрывает от более низких напряжений с увеличенным сечением ионизации, что позволяет получить карты с лучшим соотношением сигнал/шум при заданной общей дозе; 3) EELS лучше всего работает при высоких напряжениях, чтобы избежать многократного рассеяния, которое ухудшает сигнал EELS с увеличением толщины образца. К сожалению, получение данных при разных ускоряющих напряжениях на одном и том же образце без потери области интереса - и все это в течение одного сеанса микроскопии - невозможно. По крайней мере, до сих пор. Представьте себе Thermo Scientific Spectra 300 S/TEM: - который действительно может работать при разных напряжениях (все напряжения между 30 и 300 кВ, для которых были приобретены выравниватели) в течение одного сеанса микроскопии - где переключение с одного ускоряющего напряжения на другое занимает около 5 минут - В нем может быть реализована принципиально иная концепция EDX с телесным углом 4,45 рад (телесный угол 4,04 рад с аналитическим держателем с двойным наклоном) В новом спектрометре Spectra Ultra S/TEM ускоряющее напряжение становится регулируемым параметром, как и ток зонда, а массивная система Ultra-X EDX позволяет проводить химическую характеризацию материалов, слишком чувствительных к пучку для обычного EDX-анализа.