Микроскоп электронное сканирование с фокусированным ионным зондом Helios 5 PFIB DualBeam

для испытания материаловдля полупроводника3D

Сканирующий электронный микроскоп с плазменным сфокусированным ионным пучком для подготовки образцов ТЭМ, включая 3D-характеристики, поперечное сечение и микрообработку. Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam (сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным пучком, или FIB-SEM) обеспечивает непревзойденные возможности для материаловедения и полупроводниковых приложений. Для исследователей в области материаловедения Helios 5 PFIB DualBeam обеспечивает трехмерную характеризацию больших объемов, подготовку образцов без использования галлия и точную микрообработку. Для производителей полупроводниковых приборов, современных упаковочных технологий и устройств отображения информации Helios 5 PFIB DualBeam обеспечивает обработку без повреждений на больших площадях, быструю подготовку образцов и высокоточный анализ отказов. Подготовка образцов для STEM и TEM без галлия Высококачественная, безгаллиевая подготовка образцов для ТЭМ и АПТ благодаря новой колонне PFIB, позволяющей проводить окончательную полировку при 500 В Xe+ и обеспечивающей превосходную производительность при любых условиях эксплуатации. Усовершенствованная автоматизация Самая быстрая и простая автоматизированная многосайтовая подготовка образцов для ТЭМ in situ и ex situ и создание поперечных срезов с помощью дополнительного программного обеспечения AutoTEM 5. FIB-колонна нового поколения с ксеноновой плазмой 2,5 мкА Высокая пропускная способность и качество статистически значимой 3D-характеристики, поперечного сечения и микрообработки с помощью ксеноновой плазменной FIB-колонны нового поколения 2,5 мкА (PFIB). Мультимодальная подповерхностная и 3D информация Доступ к высококачественной мультимодальной подповерхностной и трехмерной информации с точным наведением на интересующую область с помощью дополнительного программного обеспечения Auto Slice & View 4 (AS&V4).